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SENSIRION氣體質(zhì)量流量計SFM5400系列資料

SENSIRION氣體質(zhì)量流量計適用于多種應(yīng)用的多功能流量計。
SFM5400質(zhì)量流量計具有的精度(誤差<1%)、可重復(fù)性和長期穩(wěn)定性,寬動態(tài)測量范圍。SFM5400由金屬制成,且高度可配置。它采用多種機械連接和電氣接口,可測量50 sccm和200 slm之間的流量。傳感器信號可在芯片上直接轉(zhuǎn)換成數(shù)字、*校準和溫度補償?shù)男盘?。多個氣體校準可以存儲在一個器件中。此外,流量計可以檢查激活的氣體校準是否與實際存在氣體相匹配。SFM5400的通用性使它成為工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用的理想解決方案。

SFM5400質(zhì)量流量計的杰出性能基于創(chuàng)新的CMOSens技術(shù),它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號處理電路。結(jié)合材料,實現(xiàn)了一個持久穩(wěn)定、快速和高精度的質(zhì)量流量計。

SFM5400質(zhì)量流量計是SFC5400質(zhì)量流量控制器的無閥門版本。SFC5400質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計具有相同的性能特性,并適用于類似的應(yīng)用,這兩個產(chǎn)品可以結(jié)合在一起。在SFC5400 網(wǎng)站,你可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的進一步信息和詳細規(guī)格。

SENSIRION流量計SFM5400性能參數(shù)
高精度、低流量(< 1 sccm)
優(yōu)良的精度/可重復(fù)性(分別為測量值的0.8% / 0.1%)
寬動態(tài)范圍(量程比1000:1)
多氣體和氣體識別
數(shù)字和模擬接口
柔性機械連接選項:down mount、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等
高度可配置
MTBF169年-無需再校準

SENSIRION流量計SFM5400應(yīng)用
分析儀器(如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析)
醫(yī)療器械(如呼吸機、麻醉機)
工業(yè)過程自動化(如涂覆、熱處理)
半導體產(chǎn)業(yè)(如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積)

了解更多有關(guān)SENSIRION流量計產(chǎn)品信息,請到站內(nèi)咨詢。

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